toone氣浮隔振光學平臺（科研級）
應(yīng)用領(lǐng)域:?
適合于高倍數(shù)電子顯微鏡、掃描探針顯微鏡、激光干涉儀、激光共聚焦顯微鏡等領(lǐng)域應(yīng)用
產(chǎn)品特點:?
◆公司依托于航空工業(yè)人員背景研發(fā)制造的具有負載能力強、剛性強、穩(wěn)定性高、隔振效果好的科研級氣浮隔振光學平臺。?
◆優(yōu)異的隔振性能:內(nèi)置精密空氣彈簧隔振系統(tǒng)，具備優(yōu)秀的固有頻率，對多個方向的振動特別是垂直方向有著良好衰減效果，避免外界振動干擾設(shè)備儀器精度，提高儀器設(shè)備使用精度和使用效率。?
◆自動調(diào)節(jié)水平功能:放置負載的位置發(fā)生變化，平臺迅速通過高精度閥門自動調(diào)整空氣彈簧內(nèi)部的氣壓，自動保持水平。氣動元器件全部執(zhí)行德國 FESTO 產(chǎn)品，標配進口無油壓縮機。?
◆臺板采用蜂窩芯夾板結(jié)構(gòu),具有重量輕、高剛度、高阻尼等優(yōu)點，上面板為 1cr17 優(yōu)質(zhì)高導(dǎo)磁不銹鋼，經(jīng)精密研磨處理，平面度高，回旋打磨工藝清除毛邊，達到無反射、亞光效果， 面板具有M6螺紋孔陣列，易于固定光學元件。?
◆隔振支撐為優(yōu)質(zhì)鋼管焊接而成，整體堅固穩(wěn)定。?
◆工作壓力為?0.35~0.6Mpa，標準配置調(diào)壓過濾閥將保證空氣彈簧的長期有效工作，用戶只需要將氣管連接進氣口，就能使裝置正常發(fā)揮隔振功能，氣源可通過小型空氣壓縮機或氮氣瓶供給，便于在安靜場合使用。
技術(shù)參數(shù):
| 平面度: | < 0.05mm/m2 |
| M6螺紋孔/孔間距 | 25X25mm |
| 表面粗糙度 | < 0.8μm |
| 固有頻率 | 水平方向:1.0Hz~1.5Hz；垂直方向：1.0Hz~1.5Hz |
| 減振效率 | 水平方向> 5Hz 時:88%~94% ?； 垂直方向<5Hz 時:86%~92% 水平方向<10Hz時:92%~98% ?； 垂直方向<10Hz時:90%~95% |
| 振幅 | < 1μm |
| 重復(fù)定位精度 | ±0.05mm |
| 荷載能力 | 800kg/m2 |
?產(chǎn)品型號：（可根據(jù)客戶要求定制不同尺寸）
型號 | 規(guī)格（mm） | 支撐數(shù)量 | 面板厚度 | 臺面厚度 | 螺紋孔/孔距 |
ZI-QF-06-06 | 600x600x800 | 4 | 6mm | 50mm | M6/25X25mm |
ZI-QF-075-075 | 750x750x800 | 4 | 6mm | 50mm | M6/25X25mm |
ZI-QF-09-06 | 900x600x800 | 4 | 6mm | 100mm | M6/25X25mm |
ZI-QF-10-08 | 1000x800x800 | 4 | 6mm | 100mm | M6/25X25mm |
ZI-QF-12-08 | 1200x800x800 | 4 | 6mm | 100mm | M6/25X25mm |
ZI-QF-12-09 | 1200x900x800 | 4 | 6mm | 100mm | M6/25X25mm |
ZI-QF-15-09 | 1500x900x800 | 4 | 6mm | 100mm | M6/25X25mm |
ZI-QF-16-10 | 1600x1000x800 | 4 | 8mm | 200mm | M6/25X25mm |
ZI-QF-15-12 | 1500x1200x800 | 4 | 8mm | 200mm | M6/25X25mm |
ZI-QF-18-10 | 1800x1000x800 | 4 | 8mm | 200mm | M6/25X25mm |
ZI-QF-18-12 | 1800x1200x800 | 4 | 8mm | 200mm | M6/25X25mm |
ZI-QF-20-10 | 2000x1000x800 | 4 | 8mm | 200mm | M6/25X25mm |
ZI-QF-20-12 | 2000x1200x800 | 4 | 8mm | 200mm | M6/25X25mm |
ZI-QF-24-12 | 2400x1200x800 | 4 | 8mm | 200mm | M6/25X25mm |
ZI-QF-30-12 | 3000x1200x800 | 6 | 8mm | 200mm | M6/25X25mm |
ZI-QF-30-15 | 3000x1500x800 | 6 | 8mm | 200mm | M6/25X25mm |
ZI-QF-35-15 | 3500x1500x800 | 6 | 8mm | 200mm | M6/25X25mm |
ZI-QF-40-15 | 4000x1500x800 | 6 | 8mm | 200mm | M6/25X25mm |
ZI-QF-50-15 | 5000x1500x800 | 10 | 10mm | 300mm | M6/25X25mm |
ZI-QF-60-15 | 6000x1500x800 | 12 | 10mm | 300mm | M6/25X25mm |
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